オイルフリースクロール真空ポンプ ISP-50

481,800円(税込)
4,818ポイント
商品コード：ISP-50
生産地：日本
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電源電圧

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PRODUCT 商品説明

【特長】

  • 大気圧から到達圧力まで、幅広い圧力領域に対応できます。
  • 「実績」それがアネスト岩田の証明
    加速器から汎用真空市場まで、ドライスクロール真空ポンプはさまざまな真空環境で活躍しています。
    潤滑油の逆拡散がなく、クリーンな真空が得られます。
    大気と真空の繰り返しにも強く、大気付近での連続運転も可能です。
  • 低振動・低騒音で高効率！それがスクロール
    吸気・圧縮・排気の行程が連続でトルク変動が少ない機構だから低振動・低騒音です。
    吸入室と排気室が隣接していない機構だから漏れが少なく高効率です。
  • かんたんメンテナンス
    冷却水・潤滑油を使用していないので、設置もメンテナンスも簡単です。
    オイルフィルタ・潤滑油などの点検交換が不要です。

 

【使用用途】

スパッタリング装置、蒸着装置、イオンプレーティング装置、加速器、
表面改質装置、電子ビーム加工 、真空溶解炉、真空熱処理炉、ガス循環・回収装置、
理化学実験用、分析機器用、各種排気装置 、真空包装機、Heリークディテクタ 、真空吸着搬送など

 

【仕様】

形式

ISP-50

設計排気速度(50/60Hz)

L/min

50/60

到達圧力(50/60Hz)

Pa

≦20/15

電動機出力(50/60Hz)

kW

0.1

電源電圧

V

単相 100,200

騒音値

dB

48

(エアーフラッシュ使用時57)

質量

kg

12

冷却方式

空冷

 

【安全上のご注意】

この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。

人体に有毒なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。

特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社では保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。

周囲温度5℃～40℃（ISP-1000Eは10℃～41℃）の範囲で使用してください。

 

 

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